晶圓是指半導體集成電路制作中所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。而硅是由石英砂精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化,接著是將這些純硅制成硅晶棒,成為制造集成電路的石英半導體的材料。經過照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。

依據GB/T 14264-2009半導體材料術語,GB/T 25915.1-2010潔凈室及環境要求,由于晶圓Wafer是極易氧化的,所以它對存儲的環境要求是無氧環境,溫度不高于25℃。三清儀器全自動智能氮氣柜,采用進口配件控制氮氣的輸入和切斷,可以選擇控制相對濕度或者氧含量。雙區數顯顯示,溫度,濕度或者氧含量。優質的SUS304材料制作,可滿足Class1000甚至Class100等級使用。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜