隨著半導(dǎo)體微電子的全速發(fā)展,微電子芯片的防氧化防護(hù)對成品芯片的品質(zhì)起著關(guān)鍵性的作用。氮?dú)夤?/a>可以利用外接高純度氮?dú)猓淙牍駜?nèi),降低柜內(nèi)的氧含量且可控制。全天候保護(hù)微電子芯片的品質(zhì)安全。

氮?dú)夤裥枰饨痈呒兌鹊獨(dú)獠趴梢允褂茫獨(dú)夤癖旧頍o法產(chǎn)生氮?dú)狻J袌錾喜糠值獨(dú)夤褡詭У獨(dú)獍l(fā)生器,一般氮?dú)饧兌葻o法得到保證,氧含量和濕度無法完美的控制,推薦使用外購的高純度氮?dú)猓扑]使用99.99%純度以上的氮?dú)狻<兌鹊偷牡獨(dú)馑碾s質(zhì)較多,長時(shí)間使用會損壞氮?dú)夤窨刂葡到y(tǒng)內(nèi)置的進(jìn)口電磁閥。智能氮?dú)夤?/a>根據(jù)相對濕度或者氧含量自動判斷氮?dú)馐欠裥枰?yīng),氮?dú)饨?jīng)過流量計(jì),達(dá)到氮?dú)饪刂葡到y(tǒng),再分散均勻的進(jìn)入氮?dú)夤駜?nèi)。防止氮?dú)膺^沖或者損壞流量計(jì),推薦使用0.2Mpa-0.4Mpa的進(jìn)氣壓力。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

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