隨著半導體微電子的全速發展，微電子芯片的防氧化防護對成品芯片的品質起著關鍵性的作用。氮氣柜可以利用外接高純度氮氣，充入柜內，降低柜內的氧含量且可控制。全天候保護微電子芯片的品質安全。

氮氣柜需要外接高純度氮氣才可以使用，氮氣柜本身無法產生氮氣。市場上部分氮氣柜自帶氮氣發生器，一般氮氣純度無法得到保證，氧含量和濕度無法完美的控制，推薦使用外購的高純度氮氣，推薦使用99.99%純度以上的氮氣。純度低的氮氣所包含的雜質較多，長時間使用會損壞氮氣柜控制系統內置的進口電磁閥。智能氮氣柜根據相對濕度或者氧含量自動判斷氮氣是否需要供應，氮氣經過流量計，達到氮氣控制系統，再分散均勻的進入氮氣柜內。防止氮氣過沖或者損壞流量計，推薦使用0.2Mpa-0.4Mpa的進氣壓力。