隨著半導體微電子的全速發展,微電子芯片的防氧化防護對成品芯片的品質起著關鍵性的作用。氮氣柜可以利用外接高純度氮氣,充入柜內,降低柜內的氧含量且可控制。全天候保護微電子芯片的品質安全。
氮氣柜需要外接高純度氮氣才可以使用,氮氣柜本身無法產生氮氣。市場上部分氮氣柜自帶氮氣發生器,一般氮氣純度無法得到保證,氧含量和濕度無法完美的控制,推薦使用外購的高純度氮氣,推薦使用99.99%純度以上的氮氣。純度低的氮氣所包含的雜質較多,長時間使用會損壞氮氣柜控制系統內置的進口電磁閥。智能氮氣柜根據相對濕度或者氧含量自動判斷氮氣是否需要供應,氮氣經過流量計,達到氮氣控制系統,再分散均勻的進入氮氣柜內。防止氮氣過沖或者損壞流量計,推薦使用0.2Mpa-0.4Mpa的進氣壓力。
產品容積 | 內徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統,SMC節氮模組 |