工業生產中,常見的膠水固化流程一般是先在半導體微電子的芯片表面涂覆一層粘附劑,方便膠水的粘合,再在半導體微電子芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態膠,然后將涂覆好膠水的半導體微電子芯片放入無氧干燥箱烤箱中等待固化。這個過程中需要注意充入氮氣或其他惰性氣體保護。按照流程,設置好無氧烤箱的加熱溫度和時間。先低溫使膠水分布均勻和充分揮發,再高溫下讓膠水固化,在芯片表面形成一層膠膜,等待冷卻后,取出樣品即可。
根據填充膠固化的工藝要求,無氧固化烤箱干燥箱必須是溫度均勻性較好的。否則會導致膠水受熱不均勻固化后產生起泡和支架襯底加熱后后不平整等問題,烤箱干燥箱的風道循環對溫度均勻性起著至關重要的作用,合理的風道設計搭配超靜音的風機,讓無氧干燥箱內的溫度誤差小,均勻性好。固化過程中不同的階段,溫度和時間都不相同,應該嚴格控制好加熱的時間,時間太短的話,膠水可能稍微完全固化,時間太長可能會導致膠水硬化,會出現開裂脫膠等現象。三清儀器程序溫度控制器可實現多段溫度時間控制,滿足客戶的需求。
此外無氧固化干燥箱還應該充分考慮冷卻速度和潔凈等級,還可以加裝氧含量檢測儀,實時了解干燥箱內的氧含量,充分保護物料的安全。三清儀器無氧固化干燥箱可按客戶實際的需求和不同物料的要求支持定制。