晶元（Wafer），也稱磊晶、晶圓、藍寶石襯底、外延片。是生產集成電路所用的載體，多用于顯示照明及LED行業。單晶硅棒經過拋光、切片之后，就成為了晶元。晶元是最常用的半導體材料。Wafer的制造過程相當復雜和嚴密，但卻是所有電子工業的基礎。晶圓制造總的工藝流程可概分為晶圓處理工序（Wafer Fabrication）、晶圓針測工序（Wafer Probe）、構裝工序（Packaging）、測試工序（Initial Test and Final Test）等幾個步驟。晶圓的成本很高，但是在普通環境下存放卻很容易氧化，造成很大的經濟損失和不良品，需要我們使用氮氣防氧化保護柜來存放。

Wafer晶圓按照不同的包裝，存放所需要的濕度值也不盡相同。帶包裝的或者真空包裝的需要存放在濕度為25%RH±3%RH的環境中，裸裝的需要存放在5%RH以下的濕度環境中。溫度值為25℃±5℃，潔凈等級為Class100的無塵環境中。三清儀器品牌氮氣柜，使用原裝進口配件，多點供氣系統，多孔式活動層板，四周留有氣體對流間距，使得氮氣防氧化柜內氮氣分布均勻，保護更全面。當晶圓存放在氮氣柜內時，應做好相應的標簽，通過高清鋼化玻璃視窗，晶圓的存放情況，存放位置一目了然。還要做好存放和取出晶圓的時間及對于的濕度值或氧含量值，全面了解Wafer在氮氣柜內的存放時長和濕度情況。可加裝USB或232通信協議，單機版軟件或者TCP/IP協議多臺氮氣柜組網軟件來實時查看氮氣柜的溫濕度記錄值。濕度超標報警功能，當濕度不達標或人為忘記關閉氮氣柜柜門時，通過聲光報警來提醒。