微電子半導體行業使用的材料Wafer，存放的時候需要防止其氧化變質，故需要放在氮氣柜內保存。普通的直沖型(不銹鋼)氮氣柜，由于沒有氮氣控制系統及柜內環境的檢測系統，氮氣處于一直消耗的狀態，使用成本非常高。三清儀器的節約型氮氣柜，相比普通氮氣柜可節約80%的氮氣消耗量，也可以在原有的普通(不銹鋼)氮氣柜上升級改造氮氣節約系統。
節約型氮氣柜控制系統可檢測柜內的濕度環境或者氧含量值，通過精密傳感器采集的數據反饋到微電腦系統，由微電腦系統控制氮氣的供應或停止，實現氮氣柜的氮氣消耗閉環控制。三清儀器(不銹鋼)氮氣柜自帶氮氣節約系統，在非三清儀器的氮氣柜上，也可以加裝氮氣控制系統，實現節約氮氣的目的。
| 產品容積 | 內徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統，SMC節氮模組 | |
