微電子半導體行業使用的材料Wafer,存放的時候需要防止其氧化變質,故需要放在氮氣柜內保存。普通的直沖型(不銹鋼)氮氣柜,由于沒有氮氣控制系統及柜內環境的檢測系統,氮氣處于一直消耗的狀態,使用成本非常高。三清儀器的節約型氮氣柜,相比普通氮氣柜可節約80%的氮氣消耗量,也可以在原有的普通(不銹鋼)氮氣柜上升級改造氮氣節約系統。

節約型氮氣柜控制系統可檢測柜內的濕度環境或者氧含量值,通過精密傳感器采集的數據反饋到微電腦系統,由微電腦系統控制氮氣的供應或停止,實現氮氣柜的氮氣消耗閉環控制。三清儀器(不銹鋼)氮氣柜自帶氮氣節約系統,在非三清儀器的氮氣柜上,也可以加裝氮氣控制系統,實現節約氮氣的目的。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜