微電子半導體行業使用的Wafer晶圓屬于一種易氧化的物質,在使用或存儲的過程中都需要處于無氧干燥的環境下進行。三清儀器智能節約型氮氣柜專為晶圓存儲而設計,鏡面不銹鋼材質,適用于潔凈室。三清儀器氮氣柜干燥箱工作室經過滿焊打磨,涂抹高溫膠,氮氣消耗量好。
氮氣柜是常溫環境下,把氮氣沖入柜體內(氮氣純度推薦99.99%以上),降低柜內的相對濕度和氧含量,給Wafer晶圓提供一個良好的存儲環境。內置SMC電磁閥,性能穩定可靠,壽命長。多點供氣系統,,使得氮氣分布更加均勻,保護性更好。根據用戶的設定值,氮氣柜自動打開和切斷氮氣供應,節約成本。一般情況下用戶的Wafer都是使用Cassette周轉移動,按照12寸13槽的晶圓Wafer Cassette的尺寸來計算,長寬約為400mm,高度約為190mm。以三清儀器品牌智能氮氣柜1436升6門為例,柜門開口尺寸為545mm,門內高度500mm,放置一層隔板,每層高度約為240mm,即一層隔板可以放置2盒Cassette,一臺1436升智能氮氣柜共計放入12盒晶圓花籃。
氮氣干燥箱是可以提供溫度環境的作業設備,在高溫環境下沖入氮氣,確保晶圓高溫環境下不被氧化。出風口和進風口均被可調節風口封閉,確保氮氣不外泄。根據用戶的實際需求,還可以選擇Class 1000及Class 100的無塵潔凈烘箱。
產品容積 | 內徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統,SMC節氮模組 |