微電子半導體行業使用的Wafer晶圓屬于一種易氧化的物質，在使用或存儲的過程中都需要處于無氧干燥的環境下進行。三清儀器智能節約型氮氣柜專為晶圓存儲而設計，鏡面不銹鋼材質，適用于潔凈室。三清儀器氮氣柜干燥箱工作室經過滿焊打磨，涂抹高溫膠，氮氣消耗量好。

氮氣柜是常溫環境下，把氮氣沖入柜體內（氮氣純度推薦99.99%以上），降低柜內的相對濕度和氧含量，給Wafer晶圓提供一個良好的存儲環境。內置SMC電磁閥，性能穩定可靠，壽命長。多點供氣系統，，使得氮氣分布更加均勻，保護性更好。根據用戶的設定值，氮氣柜自動打開和切斷氮氣供應，節約成本。一般情況下用戶的Wafer都是使用Cassette周轉移動，按照12寸13槽的晶圓Wafer Cassette的尺寸來計算，長寬約為400mm，高度約為190mm。以三清儀器品牌智能氮氣柜1436升6門為例，柜門開口尺寸為545mm，門內高度500mm，放置一層隔板，每層高度約為240mm，即一層隔板可以放置2盒Cassette，一臺1436升智能氮氣柜共計放入12盒晶圓花籃。

氮氣干燥箱是可以提供溫度環境的作業設備，在高溫環境下沖入氮氣，確保晶圓高溫環境下不被氧化。出風口和進風口均被可調節風口封閉，確保氮氣不外泄。根據用戶的實際需求，還可以選擇Class 1000及Class 100的無塵潔凈烘箱。