氮氣柜作為一種微電子行業常用的設備,從材質上可分為不銹鋼潔凈車間氮氣柜和普通冷軋鋼板靜電噴塑防靜電氮氣柜兩種。氮氣柜箱體內充入高純度氮氣用來保護存放的樣品,防止其受潮氧化變質等負面因素的發生。
三清儀器不銹鋼氮氣柜使用優質SUS304鏡面或者拉絲(霧面)不銹鋼制作,整體焊接而成,牢固程度好,并涂抹防泄漏膠水,確保柜體的密封性。氮氣控制模組外殼也使用同質不銹鋼制作,潔凈等級高,自身不產塵,可適用在百級或千級無塵室內使用。進口電磁閥性能穩定,有效可靠的控制氮氣的供應與切斷,且無噪音,受外界環境因素影響小。多點均勻供氣系統使得氮氣柜內部氮氣分布均勻,更好的全面保護樣品。推薦使用99.99%純度以上氮氣,相對濕度或者氧含量控制更加精準,效率更高。通過減壓閥或者管道出氣口調節進氣壓力,推薦0.2-0.4MPa壓力。
智能節約型氮氣柜使用過程中的一個誤區,客戶經常為了節約氮氣,把氮氣柜的流量計調節的很小,讓氮氣緩慢的進去氮氣柜內部。其實這種做法適用與老款的無氮氣控制系統的氮氣柜,三清儀器智能節約型氮氣柜內置傳感器和微電腦控制系統,根據用戶的設置,自動判斷氮氣是否供應和切斷。所有智能氮氣柜的流量計的流量大小只影響濕度或氧含量的到達設定值的時間長短,不影響氮氣的消耗量的多少。
產品容積 | 內徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統,SMC節氮模組 |