光電行業,太陽能行業,半導體微電子行業經常使用的集成電路制造的硅拋光片與外廷片,都會使用到硅材料。因為硅材料的易氧化特性,表面干凈的硅暴露在空氣中一段時間就會被氧化,說明常溫下硅是會與氧氣發生反應的。檢驗方法是:干凈的硅表面是疏水的,而被氧化成二氧化硅后表面會變得親水。為了防止這一現象的發生,我們需要將其防止在氮氣保護柜內長期存放。

三清儀器氮氣柜使用金屬外殼制造,表面靜電噴塑。內置進口配件,性能穩定可靠。采用自動程控感應系統,當箱內的濕度達到設定值時,系統會自動切斷氮氣供應;當箱內的濕度超過設定值時,系統會自動打開氮氣供應來降低箱體內的濕度和氧含量。多點均勻式供氣系統,防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內的氮氣均勻性,防止受潮氧化,更好的保護存放的物料。高強度載重移動式層板,可根據存放的物料隨意調節每層層板之間的高度,存放物料更方便,空間利用率更高。且符合符合J-STD-033B規范對濕敏元件(MSD)儲存的要求,還可以選擇SUS304不銹鋼材質制作。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜