微電子行業封裝工藝經常都是無塵環境中進行，除了在無塵室的無塵潔凈環境之外，還需要一定的溫度，加速各類膠水的固化及芯片的固定等流程，無塵潔凈烘箱可以很好的提供此類環境，溫度可在室溫至200或300℃之間自由設定，潔凈等級分為千級無塵和百級無塵。工業生產過程中可能對烘箱容積的需求較大一些，而實驗室階段則推薦小型無塵潔凈干燥箱。

設備包含鈑金箱體、加熱系統、熱風循環系統，溫度控制系統、過濾系統、充氮系統、安全保護系統。采用先進的鈑金焊接加工技術，結合工業級智能精密控溫技術，采用環保節能設計，進口耐高溫過濾器，設備密封性好、機械強度高、高潔凈度、易操控、高穩定性、安全性，符合國際審美觀的標準化整體式結構箱體；具有操作簡便、控制系統自動化程度高、系統運行穩定、無故障運行時間長等優點，產品達到國內先進水平。采用耐高溫高效過濾器，過濾等級H13(99.95% -99.99% @0.3um)。配置進口耐高溫超細纖維芯材，連續耐溫300℃，不銹鋼外框，鋁箔隔層，進口高溫陶瓷膠密封。門邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條。當設備開啟，熱風循環系統啟動，熱風循環通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。