晶圓制造的過程工業非常復雜，需要在一個無塵的環境中，因為微小的顆粒物就能引起電子組件與電路的缺陷，所以在晶圓生產制造和封裝的時候需要時候Class100無塵潔凈烘箱，又稱晶圓無塵箱來輔助工作，保證晶圓的品質。三清儀器百級潔凈烘箱經過高效耐高溫過濾器反復的進行空氣過濾，可以達到Class100的潔凈環境。

晶圓無塵箱設備包括金屬板箱、加熱系統、熱風循環系統、溫控系統、過濾系統、充氮系統和安全保護系統。采用先進的鈑金焊接加工技術，結合工業級智能精密溫控技術，環保節能設計，進口耐高溫過濾器，設備密封性好，機械強度高，清潔度高，操作方便，穩定性高安全，標準化的一體化結構箱體，符合國際審美觀，操作簡單，控制系統和系統自動化程度高，運行穩定，無故障運行時間長，產品達到國內先進水平。外箱采用1.2mm厚3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑而成。內襯材料為1.2mm~1.5mm厚SUS304×鏡面清潔不銹鋼板。保溫材料為100厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。采用進口溫控器，控溫精度0.3級，溫度分辨率±0.1℃，PID智能計算，自動恒溫，超溫抑制，傳感器斷線報警，斷電記憶，控溫精確，操作簡單，可選程序溫控功能或液晶屏顯示。采用高溫高效過濾器，過濾等級H13（99.95%-99.99%@0.3um）。采用進口耐高溫超細纖維芯材，連續耐溫300℃，不銹鋼框架，鋁箔夾層，進口高溫陶瓷膠封。門框采用玻璃纖維耐高溫密封條。設備開機后，啟動熱風循環系統，熱風循環通過高效過濾器h.e.p.a實現箱內自凈。