晶圓制造的過程工業非常復雜,需要在一個無塵的環境中,因為微小的顆粒物就能引起電子組件與電路的缺陷,所以在晶圓生產制造和封裝的時候需要時候Class100無塵潔凈烘箱,又稱晶圓無塵箱來輔助工作,保證晶圓的品質。三清儀器百級潔凈烘箱經過高效耐高溫過濾器反復的進行空氣過濾,可以達到Class100的潔凈環境。
晶圓無塵箱設備包括金屬板箱、加熱系統、熱風循環系統、溫控系統、過濾系統、充氮系統和安全保護系統。采用先進的鈑金焊接加工技術,結合工業級智能精密溫控技術,環保節能設計,進口耐高溫過濾器,設備密封性好,機械強度高,清潔度高,操作方便,穩定性高安全,標準化的一體化結構箱體,符合國際審美觀,操作簡單,控制系統和系統自動化程度高,運行穩定,無故障運行時間長,產品達到國內先進水平。外箱采用1.2mm厚3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑而成。內襯材料為1.2mm~1.5mm厚SUS304×鏡面清潔不銹鋼板。保溫材料為100厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。采用進口溫控器,控溫精度0.3級,溫度分辨率±0.1℃,PID智能計算,自動恒溫,超溫抑制,傳感器斷線報警,斷電記憶,控溫精確,操作簡單,可選程序溫控功能或液晶屏顯示。采用高溫高效過濾器,過濾等級H13(99.95%-99.99%@0.3um)。采用進口耐高溫超細纖維芯材,連續耐溫300℃,不銹鋼框架,鋁箔夾層,進口高溫陶瓷膠封。門框采用玻璃纖維耐高溫密封條。設備開機后,啟動熱風循環系統,熱風循環通過高效過濾器h.e.p.a實現箱內自凈。
型號
|
SKCOL-2
|
SKCOL-3
|
SKCOL-4
|
SKCOL-5
|
|
潔凈度
|
Class 100 百級無塵潔凈烘箱
|
||||
電源
|
380V 50HZ
|
||||
功率
|
7.5 KW
|
10.5 KW
|
11 KW
|
17 KW
|
|
工作環境溫度
|
5℃ - 35℃
|
||||
性 能 |
溫度范圍
|
+60℃ - +300℃
|
|||
溫度波動度
|
±0.5℃
|
||||
溫度均勻性
|
200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
|
||||
升溫時間
|
40分鐘以內 (室溫-300℃)
|
||||
結 構 |
外殼
|
防銹處理冷軋鋼板 內外表面靜電噴塑處理
|
|||
內膽
|
SUS304 優質不銹鋼
|
||||
隔熱材料
|
玻璃棉
|
||||
加熱器
|
覆套式電熱器
|
||||
進氣口
|
6 MM
|
||||
出氣口
|
5 MM 自動開啟排風閥門
|
||||
溫度控 制系統 |
調節方式
|
PID 控制方式
|
|||
運轉方式
|
定值運轉 程序運轉
|
||||
設定范圍
|
0 ℃ - 300 ℃
|
||||
設定方式
|
數字式
|
||||
顯示方式
|
LED數字顯示 觸摸屏顯示
|
||||
傳感元件
|
K型熱電偶
|
||||
安全保護
|
輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
|
||||
定時功能
|
0.1 - 999.9 H
|
||||
安全裝置
|
電機溫度保護開關 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
|
||||
隔板承載
|
30 KG
|
||||
內容積
|
180 L
|
270 L
|
480 L
|
980 L
|
|
重量
|
260 KG
|
320 KG
|
450 KG
|
730 KG
|
|
內部尺寸 mm
|
W600 H600 D500
|
W600 H900 D500
|
W800 H1000 D600
|
W1400 H1000 D700
|
|
外部尺寸 mm
|
W950 H1510 D855
|
W950 H1810 D855
|
W1290 H1790 D955
|
W1950 H1790 D1055
|
|
配件
|
隔板
|
2 PCS
|
|||
說明書
|
1 冊
|
||||
選購件
|
程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等
|