半導體晶圓在生產制造的過程中，需要在無塵室的環境下進行，因為細小的顆粒物可能就會引起集成電路的故障和缺陷，而在封裝工藝的過程中，需要在無塵潔凈烘箱中進行，確保成品無缺陷。包括千級，百級無塵烘箱的顆粒物數量的標準是1立方米或1立方英尺的環境中顆粒物的數量不超過35200（立方米）或1000（立方英尺）則為千級潔凈環境，而不超過3520和100的數量，則達到了百級的標準。三清儀器千級無塵烘箱，又稱潔凈烤箱使用進口的高效過濾器，可以凈化潔凈烤箱工作室內部的環境，大大降低顆粒物的數量，使用專業顆粒物測試儀測試，能達到千級或者百級的標準。

外箱采用1.2mm厚3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑而成。內襯材料為1.2mm~1.5mm厚SUS304×鏡面清潔不銹鋼板。保溫材料為100厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。采用進口溫控器，控溫精度0.3級，溫度分辨率±0.1℃，PID智能計算，自動恒溫，超溫抑制，傳感器斷線報警，斷電記憶，控溫精確，操作簡單，可選程序溫控功能或液晶屏顯示。采用高溫高效過濾器，過濾等級H13（99.95%-99.99%@0.3um）。采用進口耐高溫超細纖維芯材，連續耐溫300℃，不銹鋼框架，鋁箔夾層，進口高溫陶瓷膠封。門框采用玻璃纖維耐高溫密封條。設備開機后，啟動熱風循環系統，熱風循環通過高效過濾器h.e.p.a實現箱內自凈。