半導體晶圓在生產制造的過程中,需要在無塵室的環境下進行,因為細小的顆粒物可能就會引起集成電路的故障和缺陷,而在封裝工藝的過程中,需要在無塵潔凈烘箱中進行,確保成品無缺陷。包括千級,百級無塵烘箱的顆粒物數量的標準是1立方米或1立方英尺的環境中顆粒物的數量不超過35200(立方米)或1000(立方英尺)則為千級潔凈環境,而不超過3520和100的數量,則達到了百級的標準。三清儀器千級無塵烘箱,又稱潔凈烤箱使用進口的高效過濾器,可以凈化潔凈烤箱工作室內部的環境,大大降低顆粒物的數量,使用專業顆粒物測試儀測試,能達到千級或者百級的標準。
外箱采用1.2mm厚3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑而成。內襯材料為1.2mm~1.5mm厚SUS304×鏡面清潔不銹鋼板。保溫材料為100厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。采用進口溫控器,控溫精度0.3級,溫度分辨率±0.1℃,PID智能計算,自動恒溫,超溫抑制,傳感器斷線報警,斷電記憶,控溫精確,操作簡單,可選程序溫控功能或液晶屏顯示。采用高溫高效過濾器,過濾等級H13(99.95%-99.99%@0.3um)。采用進口耐高溫超細纖維芯材,連續耐溫300℃,不銹鋼框架,鋁箔夾層,進口高溫陶瓷膠封。門框采用玻璃纖維耐高溫密封條。設備開機后,啟動熱風循環系統,熱風循環通過高效過濾器h.e.p.a實現箱內自凈。
型號
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SKPHH-9030A
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SKPHH-9070A
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SKPHH-9140A
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SKPHH-9240A
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潔凈度
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Class 1000 / Class 10000 千/萬級無塵潔凈烘箱
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電源
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220V 50HZ
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功率
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1 KW
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1.5 KW
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2 KW
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2.5 KW
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工作環境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+20℃ - +250℃
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溫度波動度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時間
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40分鐘以內 (室溫-300℃)
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結 構 |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內外表面靜電噴塑處理
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內膽
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SUS304 優質不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進氣口
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8 MM
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出氣口
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5 MM 自動開啟排風閥門
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溫度控 制系統 |
調節方式
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PID 控制方式
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運轉方式
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定值運轉 程序運轉
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設定范圍
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0 ℃ - 250 ℃
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設定方式
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數字式
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顯示方式
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LED數字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護
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輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
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定時功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機溫度保護開關 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內容積
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30 L
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70 L
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140 L
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240 L
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重量
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50 KG
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70 KG
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80 KG
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90 KG
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內部尺寸 mm
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W340 H320 D320
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W400 H500 D350
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W450 H550 D550
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W500 H750 D600
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外部尺寸 mm
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W530 H700 D500
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W600 H900 D530
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W650 H950 D730
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W700 H1150 D780
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等
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