半導體晶圓在生產制造的過程中,需要在無塵室的環境下進行,因為細小的顆粒物可能就會引起集成電路的故障和缺陷,而在封裝工藝的過程中,需要在無塵潔凈烘箱中進行,確保成品無缺陷。包括千級,百級無塵烘箱的顆粒物數量的標準是1立方米或1立方英尺的環境中顆粒物的數量不超過35200(立方米)或1000(立方英尺)則為千級潔凈環境,而不超過3520和100的數量,則達到了百級的標準。三清儀器千級無塵烘箱,又稱潔凈烤箱使用進口的高效過濾器,可以凈化潔凈烤箱工作室內部的環境,大大降低顆粒物的數量,使用專業顆粒物測試儀測試,能達到千級或者百級的標準。

外箱采用1.2mm厚3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑而成。內襯材料為1.2mm~1.5mm厚SUS304×鏡面清潔不銹鋼板。保溫材料為100厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。采用進口溫控器,控溫精度0.3級,溫度分辨率±0.1℃,PID智能計算,自動恒溫,超溫抑制,傳感器斷線報警,斷電記憶,控溫精確,操作簡單,可選程序溫控功能或液晶屏顯示。采用高溫高效過濾器,過濾等級H13(99.95%-99.99%@0.3um)。采用進口耐高溫超細纖維芯材,連續耐溫300℃,不銹鋼框架,鋁箔夾層,進口高溫陶瓷膠封。門框采用玻璃纖維耐高溫密封條。設備開機后,啟動熱風循環系統,熱風循環通過高效過濾器h.e.p.a實現箱內自凈。

型號
SKPHH-9030A
SKPHH-9070A
SKPHH-9140A
SKPHH-9240A
潔凈度
Class 1000 / Class 10000 千/萬級無塵潔凈烘箱
電源
220V 50HZ
功率
1 KW
1.5 KW
2 KW
2.5 KW
工作環境溫度
5℃ - 35℃

溫度范圍
+20℃ - +250℃
溫度波動度
±0.5℃
溫度均勻性
200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
升溫時間
40分鐘以內 (室溫-300℃)

外殼
防銹處理冷軋鋼板 內外表面靜電噴塑處理
內膽
SUS304 優質不銹鋼
隔熱材料
玻璃棉
加熱器
覆套式電熱器
進氣口
8 MM
出氣口
5 MM 自動開啟排風閥門

溫度控

制系統

調節方式
PID 控制方式
運轉方式
定值運轉 程序運轉
設定范圍
0 ℃ - 250 ℃
設定方式
數字式
顯示方式
LED數字顯示 觸摸屏顯示
傳感元件
K型熱電偶
安全保護
輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
定時功能
0.1 - 999.9 H
安全裝置
電機溫度保護開關 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
隔板承載
30 KG
內容積
30 L
70 L
140 L
240 L
重量
50 KG
70 KG
80 KG
90 KG
內部尺寸 mm
W340 H320 D320
W400 H500 D350
W450 H550 D550
W500 H750 D600
外部尺寸 mm
W530 H700 D500
W600 H900 D530
W650 H950 D730
W700 H1150 D780
配件
隔板
2 PCS
說明書
1 冊
選購件
程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等