真空烤箱是使用真空泵抽取真空，在較低的真空度環境下，不僅可以降低液體的沸點，還適用于干燥熱敏性、易分解和易氧化的物質，特別是一些成分復雜或結構復雜的物品也能進行快速干燥。廣泛應用與多個應用領域，做粉末干燥、烘焙以及各類玻璃容器的消毒和滅菌之用。粉末干燥時應考慮粉末樣品的鋪設厚度，厚度太厚的話，可能會影響底部樣品的干燥程度。

真空烤箱的工作原理是先使用配置好的真空泵抽取真空，三清儀器真空烤箱可以達到133Pa的真空度，在此環境下，水的沸點約為52℃，可以更好的干燥樣品。如果樣品的含水量過高的話，為了防止侵蝕工作室及損壞真空泵，建議加裝冷凝器和真空罐，及時有效的把揮發的氣態水集中冷凝之后收集在真空罐中，還可以加速干燥效果。真空烤箱開機的時候應該先抽取真空，當真空度達到之后，再開啟加熱。且當工藝完成之后，開啟箱門的時候，注意燙傷，如箱門無法開啟，需等待冷卻一段時間，開啟氣閥之后，就可以順利開啟真空烤箱的箱門了。