氮氣柜是需要向柜體充入高純度的氮氣，通過空氣置換原理，讓氮氣柜柜內的氮氣濃度升高，從而降低柜內的相對濕度值和氧含量值。配置氮氣控制系統及溫濕度采集系統，可以按需定點的控制濕度值或氧含量值，在半導體行業通常用來存儲晶圓盒，防止晶圓片的氧化。

氮氣柜都會配置有氮氣流量計來控制調節的氮氣流量，相比普通的直沖型氮氣柜，三清儀器的智能節約型氮氣柜可以有效的節約氮氣的消耗，配置氮氣自動供應及切斷系統和多點供氣，讓氮氣的消耗可以節約80%以上。節約氮氣的原理是使用溫濕度傳感器或者氧含量傳感器采集數據，反饋至微電腦系統于設定值相比對，如果當前數據達到或低于設定值的時候，內置的SMC電磁閥，即刻切斷氮氣供應。反之，如果高于設定值的時候，會自動打開氮氣供應。同時要說明的是，智能氮氣柜的流量計的流量大小和氮氣的消耗沒有必然的直接關系（不排除流量過大，導致漏氣的情況發生），消耗量只和環境的濕度值，開門的次數及開門的時間長短有關系。另外存放晶圓盒的氮氣柜，一般推薦不銹鋼材質制作，潔凈等級更高，確保電路的品質。