潔凈烘箱在半導體行業的應用常見于膠水的固化,芯片或基板的干燥處理等工藝。根據不同的標準分為Class100百級潔凈度和Class1000千級潔凈度,它們對潔凈烘箱工作室內部的顆粒物粉塵的數量有著不同的數量要求,百級的要求是1立方米(1立方英尺)不高于3520(100),千級的要求是1立方米(1立方英尺)不高于35200(1000)。用戶一般使用手持式激光顆粒物及粉塵連續式測試儀來測試結果。針對無塵潔凈烘箱的潔凈度的要求,要求潔凈烘箱的內膽材質使用凈化不銹鋼板材且對厚度有一定的要求,確保本身不產塵,結構密封性好,外部顆粒物無法通過箱體進入工作室的內部。
Class100潔凈烘箱顆粒物粉塵測試之前應確保烘箱在進入潔凈室之前經過凈化處理,如使用蘇打水或酒精擦拭,包括內膽,隔板,箱門內側及密封條。使用酒精擦拭的話,要充分晾干,防止加熱時引酒精燃燒,一般不推薦使用酒精擦拭。當烘箱擦拭凈化后,要先通電工作一段時間,讓無塵潔凈烘箱的高效過濾器HEPA充分的工作,把工作室內部原有的空氣經過凈化過濾后再行測試。打開三清儀器潔凈烘箱的測試孔,把顆粒物測試儀的探頭通過測試孔放入烘箱內部,測試孔用無塵布堵住,盡可能的防止外部環境的空氣進入烘箱內部。測試結束后拿出測試儀進行讀書即可。參考顆粒物數量的標準即可測出烘箱是否達標。
型號
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SKCOL-2
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SKCOL-3
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SKCOL-4
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SKCOL-5
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潔凈度
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Class 100 百級無塵潔凈烘箱
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電源
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380V 50HZ
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功率
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7.5 KW
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10.5 KW
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11 KW
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17 KW
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工作環境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+60℃ - +300℃
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溫度波動度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時間
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40分鐘以內 (室溫-300℃)
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結 構 |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內外表面靜電噴塑處理
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內膽
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SUS304 優質不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進氣口
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6 MM
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出氣口
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5 MM 自動開啟排風閥門
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溫度控 制系統 |
調節方式
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PID 控制方式
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運轉方式
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定值運轉 程序運轉
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設定范圍
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0 ℃ - 300 ℃
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設定方式
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數字式
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顯示方式
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LED數字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護
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輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
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定時功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機溫度保護開關 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內容積
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180 L
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270 L
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480 L
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980 L
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重量
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260 KG
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320 KG
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450 KG
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730 KG
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內部尺寸 mm
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W600 H600 D500
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W600 H900 D500
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W800 H1000 D600
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W1400 H1000 D700
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外部尺寸 mm
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W950 H1510 D855
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W950 H1810 D855
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W1290 H1790 D955
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W1950 H1790 D1055
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等
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