潔凈烘箱在半導體行業的應用常見于膠水的固化，芯片或基板的干燥處理等工藝。根據不同的標準分為Class100百級潔凈度和Class1000千級潔凈度，它們對潔凈烘箱工作室內部的顆粒物粉塵的數量有著不同的數量要求，百級的要求是1立方米（1立方英尺）不高于3520（100），千級的要求是1立方米（1立方英尺）不高于35200（1000）。用戶一般使用手持式激光顆粒物及粉塵連續式測試儀來測試結果。針對無塵潔凈烘箱的潔凈度的要求，要求潔凈烘箱的內膽材質使用凈化不銹鋼板材且對厚度有一定的要求，確保本身不產塵，結構密封性好，外部顆粒物無法通過箱體進入工作室的內部。

Class100潔凈烘箱顆粒物粉塵測試之前應確保烘箱在進入潔凈室之前經過凈化處理，如使用蘇打水或酒精擦拭，包括內膽，隔板，箱門內側及密封條。使用酒精擦拭的話，要充分晾干，防止加熱時引酒精燃燒，一般不推薦使用酒精擦拭。當烘箱擦拭凈化后，要先通電工作一段時間，讓無塵潔凈烘箱的高效過濾器HEPA充分的工作，把工作室內部原有的空氣經過凈化過濾后再行測試。打開三清儀器潔凈烘箱的測試孔，把顆粒物測試儀的探頭通過測試孔放入烘箱內部，測試孔用無塵布堵住，盡可能的防止外部環境的空氣進入烘箱內部。測試結束后拿出測試儀進行讀書即可。參考顆粒物數量的標準即可測出烘箱是否達標。