目前半導體企業(yè)的使用的大量氮氣柜都是氮氣直充型,通過流量計調節(jié)氮氣進氣量大小,24小時不間斷的供應氮氣。一般氮氣流量設置為2L/M(升每分鐘),日積月累下來氮氣的消耗量過大,成本過高。且2L/M的流量,在打開氮氣柜柜門后,恢復到目的濕度值或氧含量值時間較長,為了更好的保護Wafer晶圓片,需要進行技術改造。三清儀器智能節(jié)約型氮氣柜控制系統(tǒng),使用進口的SMC電磁閥 ,配溫濕度或氧含量的傳感器采集數(shù)據(jù),然后反饋至微電腦控制系統(tǒng)來控制電磁閥的打開與切斷從而達到可以根據(jù)濕度或氧含量的目標值來控制氮氣的切斷與供應,達到節(jié)約氮氣消耗的目的,且數(shù)據(jù)可視化,操作方便簡單。目前在許多12寸晶圓廠得到廣泛的應用。

獨立的鏡面不銹鋼工藝制成的控制盒,集成控氮系統(tǒng)和數(shù)顯功能,可直接放置在氮氣柜的頂部或其他指定位置。按鍵操作,用戶自行設定濕度或氧含量數(shù)據(jù),報警數(shù)據(jù)等,達到設定值后即可自動切斷氮氣工藝來達到節(jié)約氮氣消耗的目的。氮氣進氣管路可做多路氣管,分散放置,確保氮氣柜柜內的氮氣分布均勻。傳感器使用引線傳入氮氣柜內部,位置可自由放置。配置高端的流量計且流量可調,使用該系統(tǒng)后,氮氣的消耗量和氮氣流量的大小無直接聯(lián)系,和用戶的設定值等環(huán)境因素相關。該系統(tǒng)具有誤差調節(jié)功能,485或232通訊功能,超標報警等實用的功能,方便用戶選擇。

產(chǎn)品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

氮氣柜