目前半導體企業(yè)的使用的大量氮氣柜都是氮氣直充型，通過流量計調節(jié)氮氣進氣量大小，24小時不間斷的供應氮氣。一般氮氣流量設置為2L/M（升每分鐘），日積月累下來氮氣的消耗量過大，成本過高。且2L/M的流量，在打開氮氣柜柜門后，恢復到目的濕度值或氧含量值時間較長，為了更好的保護Wafer晶圓片，需要進行技術改造。三清儀器智能節(jié)約型氮氣柜控制系統(tǒng)，使用進口的SMC電磁閥 ，配溫濕度或氧含量的傳感器采集數(shù)據(jù)，然后反饋至微電腦控制系統(tǒng)來控制電磁閥的打開與切斷從而達到可以根據(jù)濕度或氧含量的目標值來控制氮氣的切斷與供應，達到節(jié)約氮氣消耗的目的，且數(shù)據(jù)可視化，操作方便簡單。目前在許多12寸晶圓廠得到廣泛的應用。

獨立的鏡面不銹鋼工藝制成的控制盒，集成控氮系統(tǒng)和數(shù)顯功能，可直接放置在氮氣柜的頂部或其他指定位置。按鍵操作，用戶自行設定濕度或氧含量數(shù)據(jù)，報警數(shù)據(jù)等，達到設定值后即可自動切斷氮氣工藝來達到節(jié)約氮氣消耗的目的。氮氣進氣管路可做多路氣管，分散放置，確保氮氣柜柜內的氮氣分布均勻。傳感器使用引線傳入氮氣柜內部，位置可自由放置。配置高端的流量計且流量可調，使用該系統(tǒng)后，氮氣的消耗量和氮氣流量的大小無直接聯(lián)系，和用戶的設定值等環(huán)境因素相關。該系統(tǒng)具有誤差調節(jié)功能，485或232通訊功能，超標報警等實用的功能，方便用戶選擇。