工業真空烤箱和一般的熱風循環烤箱有著不同的優勢，它是抽取真空后內膽處于負壓下工作，相對氧含量值偏低，可以很好的減少或杜絕高溫下的氧化反應。且在負壓的環境下液體溶劑或水的沸點會降低，較低的溫度下可以很好的干燥樣品，可以避免在高溫環境下干燥而損壞物料的品質。如果揮發出的液體溶劑為有害或有價值的氣體可以加裝冷凝器和真空罐，使得揮發物經過冷凝處理后在真空罐內做回收處理。相比普通的熱風循環烤箱它的溫度均勻性稍差一點，因為真空環境不比鼓風對流環境，沒有熱傳導介質，僅靠熱輻射來提高箱內溫度，會導致溫度的誤差相對較大一點。真空烤箱可以充入先氮氣再抽真空，可以大幅度的降低柜內的氧含量值，不過需要值得的是，加熱之前記得關閉氮氣進氣和真空閥門，以防熱空氣進入真空泵導致泵的損壞。

在鋰電池行業真空烤箱是非常必要的，水分對鋰電池的性能影響很大，包括電壓、內阻、自放電等指標。水分含量過高會導致產品報廢、品質下降，還會爆炸。因此在鋰電池的多個生產工序中分別要對正負極片、電芯和電池進行多次真空烘烤，以盡可能去除其中的水分。如果鋰電池的水份控制不好，使用的過程中發熱的時候會導致其內部的水分蒸發從而導致空氣劇烈膨脹，導致電池鼓包，嚴重的話電池會引起爆炸起火。