8英寸Cassete氮氣存儲保護(hù)柜,12英寸Cassete氮氣存儲保護(hù)柜使用優(yōu)質(zhì)雙鏡面不銹鋼制作,可選201或者304規(guī)格不銹鋼板材。配置節(jié)氮裝置,智能控制氮氣的供應(yīng)與切斷。可選更多功能如濕度超標(biāo)聲光報警,柜門未關(guān)好報警,濕度誤差校準(zhǔn)等。氮氣柜尺寸可根據(jù)晶圓盒的尺寸和存儲的數(shù)量來訂制。晶圓盒的氮氣柜濕度控制范圍在1% - 60%RH區(qū)間可任意調(diào)節(jié),當(dāng)濕度達(dá)到用戶設(shè)定值時會自動切斷氮氣供應(yīng)。開啟箱門之后,濕度上升超過用戶設(shè)定值,氮氣會自動打開供應(yīng),快速除濕,將濕度穩(wěn)定在預(yù)設(shè)值內(nèi)。需要注意的是,正常設(shè)置的氮氣柜,斷電后電磁閥默認(rèn)處于關(guān)閉狀態(tài),即斷電后氮氣處于關(guān)閉狀態(tài)。此設(shè)置可能不適合部分場景應(yīng)用,針對此類情況,三清儀器氮氣柜可修改為斷電后,氮氣默認(rèn)處于一直供氣的狀態(tài),以此來保護(hù)物料的安全。缺點是氮氣的消耗量會增加。
產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 |