Class100百級無塵潔凈烤箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。配置氮氣接口，使用前可向柜內充入氮氣。三清儀器潔凈烤箱在普通的環境下，能夠確保烤箱內部的潔凈等級達到Class 100。
潔凈烤箱的溫控系統采用智能控制系統，可預編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段，歷史數據查詢(數據可以通過USB接口導出)。使用可控硅加雙SSR輸出，溫度可控性能更好。采用平面水平由左向右送風后經美國進口H.E.P.A (特殊風道設計)，過濾效率99.99%，內部的潔凈等級達到Class 100。
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型號
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SKCOL-2
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SKCOL-3
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SKCOL-4
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SKCOL-5
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潔凈度
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Class 100 百級無塵潔凈烘箱
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電源
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380V 50HZ
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功率
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7.5 KW
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10.5 KW
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11 KW
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17 KW
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工作環境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+60℃ - +300℃
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溫度波動度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時間
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40分鐘以內 （室溫-300℃）
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結 構 |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內外表面靜電噴塑處理
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內膽
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SUS304 優質不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進氣口
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6 MM
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出氣口
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5 MM 自動開啟排風閥門
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溫度控 制系統 |
調節方式
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PID 控制方式
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運轉方式
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定值運轉 程序運轉
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設定范圍
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0 ℃ - 300 ℃
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設定方式
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數字式
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顯示方式
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LED數字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護
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輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
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定時功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機溫度保護開關 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內容積
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180 L
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270 L
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480 L
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980 L
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重量
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260 KG
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320 KG
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450 KG
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730 KG
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內部尺寸 mm
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W600 H600 D500
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W600 H900 D500
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W800 H1000 D600
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W1400 H1000 D700
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外部尺寸 mm
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W950 H1510 D855
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W950 H1810 D855
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W1290 H1790 D955
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W1950 H1790 D1055
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等
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