氮氣柜是一種密封性良好的柜體,利用外部氮氣氣源充入柜內,置換出柜內原有的空氣,讓氮氣柜箱體內部處于一個氮氣氣體的氛圍,快速有效的降低柜內的濕度及氧含量,專業用來存儲各類濕敏元器件及集成電路,防止其被潮氣侵蝕而損壞器件的功能。氮氣柜在半導體行業中的應用非常廣泛,主要用來存儲晶圓片。三清儀器氮氣柜相比普通的直充氮氣的氮氣柜有著明顯的優勢,可大大的節約氮氣的消耗量,降低使用成本。氮氣柜的工作原理是空氣置換。利用一個封閉的柜體,通過外接氣源把氮氣沖入箱內,把箱內原先的空氣置換出去,使箱內的環境處于一個氮氣的氛圍中。迅速的把箱內的水汽,氧氣全部置換出去。氮氣柜工作有一個誤區,很多人都會想到氮氣柜的箱內壓力問題。其實氮氣柜不是一個壓力容器,向內外的壓力基本相似,內外都處于一個大氣壓的環境中。存放在氮氣柜內的物料可以有效的防止氧化,受潮。

可選擇不銹鋼材質的氮氣柜,潔凈度更高,可選擇各類輔助功能,如開門報警,濕度或氧含量超標報警等。還可以選擇TCP/IP局域網集中管理。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜