氮氣柜是一種密封性良好的柜體,利用外部氮氣氣源充入柜內,置換出柜內原有的空氣,讓氮氣柜箱體內部處于一個氮氣氣體的氛圍,快速有效的降低柜內的濕度及氧含量,專業用來存儲各類濕敏元器件及集成電路,防止其被潮氣侵蝕而損壞器件的功能。氮氣柜在半導體行業中的應用非常廣泛,主要用來存儲晶圓片。三清儀器氮氣柜相比普通的直充氮氣的氮氣柜有著明顯的優勢,可大大的節約氮氣的消耗量,降低使用成本。氮氣柜的工作原理是空氣置換。利用一個封閉的柜體,通過外接氣源把氮氣沖入箱內,把箱內原先的空氣置換出去,使箱內的環境處于一個氮氣的氛圍中。迅速的把箱內的水汽,氧氣全部置換出去。氮氣柜工作有一個誤區,很多人都會想到氮氣柜的箱內壓力問題。其實氮氣柜不是一個壓力容器,向內外的壓力基本相似,內外都處于一個大氣壓的環境中。存放在氮氣柜內的物料可以有效的防止氧化,受潮。
可選擇不銹鋼材質的氮氣柜,潔凈度更高,可選擇各類輔助功能,如開門報警,濕度或氧含量超標報警等。還可以選擇TCP/IP局域網集中管理。
產品容積 | 內徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統,SMC節氮模組 |