氮氣柜用來存放各類易氧化的器件,廣泛應用于光電行業,太陽能,半導體微電子等行業。需要外接氮氣氣源,經過流量計進入氮氣柜內部,有效的降低柜內的氧含量及濕度值,確保器件的安全保管。三清儀器氮氣柜采用多點分布供氣系統,降低了高壓氮氣進入柜內時的沖擊力的同時還可以緩解液氮汽化時產生的結露現象,且氮氣流量大小可調。
當氮氣柜應用在潔凈環境時,可選用雙鏡面SUS304不銹鋼材質制作,潔凈等級更好,可在百級千級無塵室中使用。內置性能穩定可靠,使用壽命長的電磁閥,配合微電腦控制系統,根據用戶自己設定濕度值或者氧含量值,可自行打開和關閉氮氣的供應,有效可靠的節約氮氣的消耗。部分產品對存儲的環境要求很高時,還可以在氮氣柜上加裝FFU高效過濾系統,使得氮氣柜內部環境達一個穩定的無塵環境,更適合精密器件的存放。
產品容積 | 內徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統,SMC節氮模組 |