氮氣柜通過外置氮氣氣源充入氮氣柜內部,置換出原有的空氣,可以迅速的降低氮氣柜內部的相對濕度值及氧含量。可以為Wafer晶圓提供一個良好的存儲環境,確保物料存儲的安全。氮氣柜的氮氣氣源一般有兩種實際的應用場景,一種是連接外置的氮氣氣瓶,另外一種是連接至工廠提前布置好的氮氣管道上。不管是哪種方式,我們都需要確保氮氣的純度和氮氣的壓力,前者純度過低的話,可能達不到預期的要求,后者壓力過大的話,會造成氮氣的極大浪費。

對于氮氣的純度,我們推薦的是至少99.99%純度以上,如果要求不高或者是其他行業,也可以使用99.9%純度的氮氣。至于氮氣柜的氮氣進氣壓力,三清儀器智能節氮型氮氣柜推薦進氣壓力調節為0.2MPA左右較為合適。因為氮氣柜只是一個密封性較好的柜體,相對于壓力容器來說,他的承壓性能較差。當氮氣充入箱體內時,箱體內部會存在一個微正壓的狀態,此時箱內原有的空氣開始置換出去。如果氮氣進氣壓力過大的話,箱內正壓就會增大,此時空氣被置換的同時,氮氣也會被置換出去,這樣就會造成氮氣消耗的浪費,所以不推薦氮氣柜進氣壓力過大。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜