氮氣柜通過外置氮氣氣源充入氮氣柜內部，置換出原有的空氣，可以迅速的降低氮氣柜內部的相對濕度值及氧含量。可以為Wafer晶圓提供一個良好的存儲環境，確保物料存儲的安全。氮氣柜的氮氣氣源一般有兩種實際的應用場景，一種是連接外置的氮氣氣瓶，另外一種是連接至工廠提前布置好的氮氣管道上。不管是哪種方式，我們都需要確保氮氣的純度和氮氣的壓力，前者純度過低的話，可能達不到預期的要求，后者壓力過大的話，會造成氮氣的極大浪費。

對于氮氣的純度，我們推薦的是至少99.99%純度以上，如果要求不高或者是其他行業，也可以使用99.9%純度的氮氣。至于氮氣柜的氮氣進氣壓力，三清儀器智能節氮型氮氣柜推薦進氣壓力調節為0.2MPA左右較為合適。因為氮氣柜只是一個密封性較好的柜體，相對于壓力容器來說，他的承壓性能較差。當氮氣充入箱體內時，箱體內部會存在一個微正壓的狀態，此時箱內原有的空氣開始置換出去。如果氮氣進氣壓力過大的話，箱內正壓就會增大，此時空氣被置換的同時，氮氣也會被置換出去，這樣就會造成氮氣消耗的浪費，所以不推薦氮氣柜進氣壓力過大。