氮氣柜在半導體行業中的應用非常廣泛,主要體現在以下幾個方面:

提供惰性氣氛:

防止氧化:半導體芯片的制造需要在特定的環境中進行,氮氣可以提供一個干燥、無塵、無氧的環境,以防止芯片在制造過程中受到氧化。例如,在晶圓存儲柜中,通過氮氣填充裝置將晶圓傳送盒內的氧氣和水汽排出,同時使晶圓傳送盒內充滿干燥的氮氣,避免在晶圓表面生成氧化物,提高了晶圓的良品率。

保護石墨舟:石墨舟在空氣中容易與氧氣發生反應,尤其是在高溫處理后,表面可能更為敏感。石墨舟氮氣柜通過充入氮氣來降低柜內氧氣濃度,防止石墨舟表面氧化,保持其導電性和熱穩定性。

保護存儲環境:

防潮防濕:氮氣柜可以創造一個干燥的環境,避免濕氣對半導體器件的影響,從而保護其不被潮濕環境影響。例如,半導體氮氣柜通過將氮氣加壓充入柜體,創造出一種低氧、低濕度、低污染的環境,從而保護半導體等精密電子元件免受濕度和污染的影響。

防靜電:氮氣柜的主體材料通常采用防靜電噴涂,可以有效防止靜電對半導體器件的損害。

提高生產效率和產品質量:

延長使用壽命:在低氧、低濕度、低污染的環境下,半導體的氧化和腐蝕速度會減緩,從而延長其使用壽命。

提高良品率:通過氮氣柜提供的穩定環境,可以減少由于濕度和污染導致的故障,提高半導體產品的良品率。

節能降耗:氮氣柜采用先進的節能技術,能夠有效地降低能源消耗,同時減少對環境的影響。