潔凈烘箱在半導體封裝過程中的應用非常關鍵,具體體現在以下幾個方面:
裝片固化:
銀膠固化:在裝片過程中,使用導電銀膠將芯片固定在框架上。裝片完成后,需要將框架送入潔凈烘箱進行固化處理。通過通入氮氣并加熱至一定溫度(如175℃),使銀膠完全固化,從而確保芯片與框架之間形成牢固的連接。
提高黏附性:固化過程中,潔凈烘箱可以驅趕銀膠中的溶劑,提高膠對襯底的黏附性,確保芯片與框架之間的可靠連接。
塑封固化:
消除應力:注塑完成后,工件需要轉移至固化加熱爐(潔凈烘箱)中進行保溫固化。固化溫度通常維持在175℃,時間為8小時左右。這一過程的主要作用是消除塑封料內部的應力,提高封裝的穩定性和可靠性。
確保封裝質量:通過潔凈烘箱的高溫固化,可以確保塑封材料完全固化,避免在后續使用過程中出現分層、開裂等問題,從而提高封裝產品的質量和可靠性。
提供潔凈環境:
防止污染:潔凈烘箱內部的潔凈度可以達到Class 100或Class 1000級別,能夠有效防止微塵粒子、有害氣體等污染物對封裝過程的影響。這對于保證封裝材料和芯片的潔凈度至關重要,因為任何微小的污染都可能導致封裝質量下降或芯片性能受損.
控制溫度和氣氛:潔凈烘箱可以精確控制溫度和氣氛,如通過通入氮氣來降低烘烤空間中的氧氣含量,防止氧化。這種精確的控制有助于確保封裝過程中的各個步驟在最佳條件下進行,提高封裝產品的質量和一致性.
提高生產效率:
縮短生產周期:潔凈烘箱可以快速升溫并保持穩定的溫度,使得封裝過程中的固化、烘干等步驟能夠高效完成,從而縮短生產周期。
減少返工率:通過提供潔凈、穩定的環境和精確的溫度控制,潔凈烘箱能夠降低封裝過程中由于污染、溫度不均等因素導致的返工率,提高生產效率。
型號
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SKCOL-2
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SKCOL-3
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SKCOL-4
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SKCOL-5
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潔凈度
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Class 100 百級無塵潔凈烘箱
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電源
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380V 50HZ
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功率
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7.5 KW
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10.5 KW
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11 KW
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17 KW
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工作環境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+60℃ - +300℃
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溫度波動度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時間
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40分鐘以內 (室溫-300℃)
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結 構 |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內外表面靜電噴塑處理
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內膽
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SUS304 優質不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進氣口
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6 MM
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出氣口
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5 MM 自動開啟排風閥門
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溫度控 制系統 |
調節方式
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PID 控制方式
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運轉方式
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定值運轉 程序運轉
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設定范圍
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0 ℃ - 300 ℃
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設定方式
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數字式
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顯示方式
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LED數字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護
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輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
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定時功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機溫度保護開關 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內容積
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180 L
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270 L
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480 L
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980 L
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重量
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260 KG
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320 KG
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450 KG
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730 KG
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內部尺寸 mm
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W600 H600 D500
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W600 H900 D500
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W800 H1000 D600
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W1400 H1000 D700
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外部尺寸 mm
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W950 H1510 D855
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W950 H1810 D855
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W1290 H1790 D955
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W1950 H1790 D1055
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等
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