氮氣柜在保護晶圓方面具有重要作用，主要體現在以下幾個方面：

提供惰性氣氛：

防止氧化：氮氣是一種惰性氣體，化學性質穩定，不易與其他物質發生反應。在氮氣柜中，高純度的氮氣能夠有效隔絕晶圓與外界空氣的接觸，減少晶圓表面的氧化。例如，氮氣柜內的氮氣純度通常要求達到99.999%以上，以確保晶圓芯片在存儲過程中不會受到氧化和污染。

減少化學反應：氮氣柜內充滿純凈的氮氣，減少了氧氣和其他有害氣體的存在，從而防止晶圓與其他材料發生化學反應，保護晶圓的完整性。

濕度控制：氮氣柜內的濕度通常能夠控制在10%RH以下。低濕度環境能夠有效降低晶圓表面的水分含量，防止水分對晶圓的氧化和腐蝕，保持晶圓的穩定性和可靠性。

保持潔凈環境：

無塵環境：氮氣柜能夠提供一個無塵的環境，防止空氣中的微粒和污染物對晶圓造成污染。這對于保證晶圓的純凈度和質量至關重要。高效過濾：氮氣柜通常配備高效過濾器，以確保柜內空氣的潔凈度達到晶圓存儲的要求。

防靜電措施：

防靜電保護：晶圓芯片對靜電敏感，氮氣柜采取了一系列防靜電措施，如設立靜電地板、接地裝置和靜電屏蔽等，以防止靜電對晶圓芯片造成損害。

通過這些措施，氮氣柜能夠有效地保護晶圓免受氧化、潮氣、污染和靜電等不利因素的影響，從而確保晶圓的質量和可靠性。