高溫無氧厭氧烤箱在多個高科技和精密制造行業中有著廣泛的應用,以下是其主要應用領域:
半導體行業
PI/BCB/BPO膠粘劑的固化:在半導體生產中,PI(聚酰亞胺)、BCB(苯并環丁烯)和BPO(雙酚A型環氧樹脂)等膠粘劑需要在無氧環境下高溫固化。這些材料在高溫下容易氧化,因此需要在低氧環境中進行固化,以確保材料的性能和穩定性。
晶片退火:為了消除芯片工藝前一階段高溫產生的內應力缺陷,晶片需要在低氧條件下長時間烘烤。這有助于提高芯片的穩定性和可靠性。
堅膜后烘:顯影后的基材需要去除光刻膠中的殘留溶劑,為增強光刻膠在硅片表面的附著力,需要在無氧環境中烘烤。
基板烘烤:基材在封裝前需要排除內部的水分子,需要進行氮氣烘烤處理,以保證更徹底地去除水分和保護基板。
封裝固化:封裝固化過程中,保護器件不被氧化,尤其是引線封裝,如SOP、SOT、QFN框架采用銅基材料,極易氧化,需要在低氧環境下固化。
光電子行業
LCD前工段生產:在LCD生產過程中,玻璃基板等材料需要在無氧環境下進行高溫處理,以確保材料的性能和質量。
光刻膠固化:光刻膠在固化過程中需要在無氧環境中進行,以防止氧化影響其性能。
新能源行業
車載玻璃鍍膜后退火:車載玻璃在鍍膜后需要進行退火處理,以消除內應力和提高玻璃的穩定性。無氧環境可以防止玻璃在高溫下氧化。
硅片(晶圓)高溫退火:硅片在高溫退火過程中需要在無氧環境中進行,以防止氧化影響其電學性能。
電子陶瓷材料
無塵烘干:電子陶瓷材料在生產過程中需要在無塵、無氧環境中進行烘干,以確保材料的純度和性能。
其他行業
氟橡膠材料厭氧烘烤:氟橡膠材料在高溫固化過程中需要在無氧環境中進行,以防止氧化影響其機械性能。
SMT烘烤:電子器件(特別是沒有防潮保存的芯片)、過期PCB在進貼片機前需要進行充氮烘烤,以去除水分和防止氧化。
技術特點
高效率:采用熱風循環模式,有效提高熱效率,節省能源消耗。
精確干燥:配備進口耐高溫高效過濾器,能夠在超百級的潔凈環境下工作,有效控制環境中的顆粒以及產品在烘烤制程揮發的顆粒。
節能環保:采用先進的加熱和回收技術,可以在長時間工作中保持高品質且高效的加熱效果,進一步降低能耗。
智能操作:配備觸控板微計算機輔助設計和自動化的人性化操作界面,使烤箱可以通過微計算機對工藝流程進行控制。
安全可靠:采用先降氧后升溫模式,有效防止產品氧化,提高良率。配備進口高精度溫控器和傳感器,確保數據的精準度。
適用場景
工廠生產:適用于大規模生產環境,確保產品質量和生產效率。
高校研究:適用于科研實驗室,進行材料研究和工藝開發。
科研機構:適用于高科技研發機構,進行前沿技術研究和實驗驗證。
產品型號和技術參數
GMO-60D:
工作室尺寸:W600*H600*D600
功率:10KW
溫度范圍:+60~+450℃
溫度均勻度:±2.5℃ at 200℃;±5℃ at 350℃(空載)
升溫速度:常溫~400℃,升溫速度>6°C/min
溫控精度:±1℃
含氧量:≤20PPM
運行噪音:≤65db
擱板形式:活動形式
總結
高溫無氧厭氧烤箱在半導體、光電子、新能源、電子陶瓷材料等多個高科技和精密制造行業中有著廣泛的應用。其高效率、精確干燥、節能環保、智能操作和安全可靠的特點,使其成為現代工業中不可或缺的設備。