晶圓氮氣保護柜是一種專門用于存儲晶圓的設備，其主要功能和特點如下：
主要功能
提供惰性氣氛：
防止氧化：氮氣是一種惰性氣體，化學性質穩定，不易與其他物質發生反應。在氮氣柜中，高純度的氮氣能夠有效隔絕晶圓與外界空氣的接觸，減少晶圓表面的氧化。氮氣柜內的氮氣純度通常要求達到99.999%以上，以確保晶圓芯片在存儲過程中不會受到氧化和污染。
減少化學反應：氮氣柜內充滿純凈的氮氣，減少了氧氣和其他有害氣體的存在，從而防止晶圓與其他材料發生化學反應，保護晶圓的完整性。
濕度控制：
低濕度環境：氮氣柜內的濕度通常能夠控制在10%RH以下，甚至更低。低濕度環境能夠有效降低晶圓表面的水分含量，防止水分對晶圓的氧化和腐蝕，保持晶圓的穩定性和可靠性。
自動調節：氮氣柜應配備精確的濕度傳感器和控制系統，能夠根據設定的濕度值自動調節氮氣流量或濕度調節裝置，將柜內濕度控制在合適的范圍內（如1%-60%RH）。
保持潔凈環境：
無塵環境：氮氣柜能夠提供一個無塵的環境，防止空氣中的微粒和污染物對晶圓造成污染。這對于保證晶圓的純凈度和質量至關重要。
高效過濾：氮氣柜通常配備高效過濾器，以確保柜內空氣的潔凈度達到晶圓存儲的要求。
應用領域
半導體制造：
存儲晶圓：在半導體制造過程中，晶圓需要在多個工序之間進行存儲和轉運。氮氣柜提供了一個無塵、低濕度、低氧的環境，可以有效防止晶圓在存儲過程中受到氧化和污染，確保晶圓的質量和穩定性。
提高生產效率：氮氣柜能夠提供穩定的存儲環境，可以確保生產過程中的質量穩定，從而提高生產效率。
通信行業：
保護高價值器件：通信系統中的半導體器件對環境要求極高，尤其是在高濕度和多塵的環境下。氮氣柜可以為這些高價值半導體器件提供最佳的保護，確保通信系統的穩定運行。
航空航天：
極端環境下的保護：航空航天領域的電子產品需要在極端環境下保持高度的可靠性和穩定性。氮氣柜能夠為這些設備提供最佳的保護，確保其在各種環境下都能正常工作。
汽車電子：
提高可靠性和穩定性：汽車電子設備需要在復雜的環境中運行，氮氣柜可以為這些設備提供穩定的存儲環境，提高其可靠性和穩定性，延長使用壽命。
| 產品容積 | 內徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統，SMC節氮模組 | |
