無塵烤箱在半導體行業的使用規范

設備選擇與配置

潔凈度等級

根據半導體生產對潔凈度的不同要求，選擇相應潔凈度等級的無塵烤箱。如光刻工藝中的預烘烤、涂膠后的堅膜烘烤等環節，需使用Class 100百級無塵潔凈烤箱；而一些對潔凈度要求稍低的環節，可選用Class 1000千級無塵烤箱。

溫度控制

無塵烤箱應具備高精度的溫度控制系統，溫度范圍通常為室溫+10℃至300℃，溫度波動度控制在±0.5℃以內。溫度均勻性也非常重要，一般要求在200℃時±3℃，300℃時±4℃。

氧含量控制

對于需要無氧化烘烤的工藝，無塵烤箱應配備氮氣系統，可將箱內氧含量控制在100PPM以內，甚至更低，如20PPM。

過濾系統

配備HEPA或ULPA過濾系統，確保箱內潔凈度達到ISO 5級。過濾器應定期更換，以保持其過濾效率。

操作流程與注意事項

使用前準備

檢查無塵烤箱的電源、氣源連接是否正常，確保設備處于完好狀態。

根據工藝要求設定好溫度、時間等參數，并進行預熱，使箱內達到所需的溫度和潔凈度。

確認待烘烤的產品已按照規定進行清潔處理，避免帶入污染物。

放置產品

將產品放置在無塵烤箱的不銹鋼層架上，層架間距可調節，以滿足不同產品的需求。

放置時應輕拿輕放，避免對產品造成損傷。

烘烤過程

啟動無塵烤箱，按照設定的工藝曲線進行烘烤。在烘烤過程中，應密切觀察設備的運行狀態，如有異常情況應及時處理。

對于需要充氮氣的工藝，應確保氮氣流量穩定，并實時監測箱內氧含量。

取出產品

烘烤完成后，應先關閉加熱系統，待箱內溫度降至安全溫度后再取出產品。

取出產品時應佩戴無塵手套，避免手部污染。

安全與維護

安全措施

無塵烤箱應具備超溫保護、過載保護等多種安全措施，以防止設備在異常情況下損壞或發生危險。

操作人員應經過專業培訓，熟悉設備的操作規程和安全注意事項。

日常維護

定期對無塵烤箱進行清潔和維護，保持箱體內外的清潔。

檢查加熱器、風扇等關鍵部件的運行情況，及時更換損壞的部件。

對溫度傳感器、氧含量傳感器等進行定期校準，確保其測量精度。

環境與人員管理

環境管理

無塵烤箱應放置在符合潔凈度要求的無塵室內，避免外部環境對烘烤過程的影響。

無塵室內的溫度和濕度應控制在適宜范圍內，以保證無塵烤箱的正常運行。

人員管理

操作人員在進入無塵室前，必須穿戴好無塵服、無塵帽、無塵鞋等防護用品。

人員在操作過程中應遵守無塵室的管理規定，避免帶入污染物。