蘇州三清儀器有限公司生產的半導體晶圓用不銹鋼潔凈氮氣柜具有以下特點和優勢：
產品特點
潔凈與防氧化：
采用優質SUS304雙鏡面不銹鋼材質，自身不產塵，潔凈等級高。
氮氣柜通過充入高純度氮氣，降低內部濕度和氧含量，有效防止晶圓氧化。
內部配備高潔凈過濾器，確保氮氣的潔凈度。
氮氣節約功能：
智能供氮控制系統可根據設定的濕度值自動控制氮氣的供應，當濕度達到設定值時自動切斷氮氣，超過設定值時自動開啟。
多點供氣系統確保氮氣分布均勻，避免氣體過沖對樣品造成破壞。
安全與便捷性：
配備聲光報警系統、斷電后自動打開氮氣供應功能，確保樣品在斷電時仍能得到保護。
柜體設計包括高強度鋼化玻璃觀察窗、平面加壓把手、防靜電萬向腳輪等，方便移動和定位。
智能化控制：
支持觸摸屏或電子鍵盤操作，具備氮氣濃度、溫濕度監測、報警提示等功能。
可選配USB溫濕度信息傳輸系統、RS485通信接口等。
應用場景：
適用于半導體晶圓、芯片、光罩、石墨盤等高精密材料的存儲。
適合在千級或百級無塵室中使用，確保晶圓在存儲過程中免受氧化和污染。
定制化服務：
可根據客戶需求定制不同尺寸和容量的氮氣柜，如12寸CASSETTE存放需求。
三清儀器的氮氣柜憑借其高潔凈度、氮氣節約功能和智能化控制系統，成為半導體行業存儲晶圓的理想選擇。
| 產品容積 | 內徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統，SMC節氮模組 | |
