選擇工業級半導體晶圓用氮氣柜時，需要綜合考慮其技術參數、材質、功能、品牌及售后服務等多個方面，以確保設備能夠滿足半導體晶圓存儲的嚴格要求。以下是詳細的選購指南：
技術參數
濕度控制：氮氣柜應能將濕度精確控制在1%-60%RH范圍內，并根據設定值自動調節氮氣流量。
氮氣純度：氮氣純度需達到99.99%以上，以防止晶圓氧化。
溫度控制：雖然部分氮氣柜不直接調節溫度，但環境溫度應保持在22±2℃，相對濕度40%-60%，以確保晶圓品質。
密封性能：柜體密封性要高，確保外界空氣和污染物無法進入。
潔凈度：氮氣柜內潔凈度應達到ISO Class 5或更高，以滿足半導體晶圓存儲要求。
材質與結構
柜體材質：優先選擇304不銹鋼材質，其潔凈度高、耐用性強，適合在百級或千級無塵室內使用。
設計特點：柜體應采用加強結構設計，承重性能好，內部無氮氣死角，確保氮氣均勻分布。
開門方式：根據存儲需求選擇單開門、雙開門或多開門設計。
功能與智能化
智能控制系統：配備微電腦智能控制系統，可設定濕度、自動切斷氮氣供應，節約氮氣。
多點供氣系統：通過多點供氣，確保柜內氮氣分布均勻，避免死點死角。
安全功能：具備氮氣泄漏報警、超壓保護、緊急停機等功能。
成本效益分析
氮氣節約：選擇配備節氮模塊的氮氣柜，可顯著降低氮氣消耗，降低使用成本。
使用壽命：高質量的不銹鋼材質和穩定的控制系統可延長設備使用壽命，降低長期維護成本。
其他注意事項
靜電防護：氮氣柜應具備良好的防靜電設計，避免靜電對晶圓造成損害。
定制化服務：根據存儲物品的尺寸和數量，選擇可定制隔板設計和尺寸的氮氣柜。
通過以上建議，可以幫助您選擇適合半導體晶圓存儲的工業級氮氣柜，確保晶圓在存儲過程中免受氧化、潮氣和污染的影響，從而保障產品的最終性能和可靠性。
| 產品容積 | 內徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統，SMC節氮模組 | |
